512×1 InGaAs 面状アレイ検出器


焦点面アレイサイズ:512 × 1、応答波長範囲:1.30 ± 0.05 ~ 2.50 ± 0.05 μm、ピクセルサイズ:25 × 250 μm²、ピッチ:25 μm、有効面積:12.8 × 0.25 mm²

型番  :  L055125M2-A
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L055125M2-A 型 InGaAs リニア検出器は、512×1 の InGaAs 感光チップ、読み出し集積回路(ROIC)、および 2 段階熱電冷却器(TEC)で構成されています。金属パッケージ設計を採用し、拡張波長範囲および選択可能な多段階ゲインを特徴としています。本検出器は、短波赤外線イメージング、工業検査、色選別などの分野に適用可能です。


主要光電子仕様

パラメータ

典型値

*応答波長範囲 (µm)¹

1.30 ±0.05 ~2.50 ±0.05

量子効率ピーク (%)

≥60

*暗電流密度 (µA/cm²)¹

<5

*有効画素率 (%)²³

≥98

*応答不均一性 (%)³

<8

読み出しモード

IWR, ITR, オプション

読み出し速度 (MHz)

シングルチャネル 10

最大フレームレート (fps)

20k

ゲインレベル

8

飽和電圧 (V)

1.6

変換ゲイン (nV/e⁻)

ゲインレベル1: 16000

ゲインレベル 2: 8000

ゲインレベル 3: 4000

ゲインレベル 4: 2665

ゲインレベル 5: 1775

ゲインレベル 6: 840

ゲインレベル 7: 325

ゲインレベル 8: 160

 *1 焦点面温度 = -20℃

 *2 ピクセル応答信号が平均値から一定範囲内にあるピクセルの割合

 *3 試験条件:焦点面温度 = -20℃、ゲインレベル 8、積分時間 = 0.5 ms

 

機械パラメータ

 パラメータ

典型値

 寸法(長さ × 幅 × 高さ)(mm³)

55 ×32.6 × 13

 重量 (g)

78

 焦点面アレイサイズ

512 × 1

 ピクセルピッチ (µm)

25

 ピクセルサイズ (µm²)

25 ×250

  有効面積 (mm²)

12.8 ×0.25


動作環境および消費電力仕様

パラメータ

典型値

動作温度 (°C)

0~+35

保存温度 (°C)

-5~+40

典型消費電力 (W)

<0.15

TEC 無効、周囲温度 = 25℃、読み出しチャンネル数 = 8、電力制御ギア = 100%

 

機械仕様

本検出器は金属パッケージ設計を採用しており、大気圧下で高純度窒素が封入されています。金属外殻は FeNiCoSi 合金製で、表面には Ni/Au 電解メッキ層があります。窓は接着剤で固定され、カバーは抵抗溶接により封止されています。外形寸法は 55 mm(長さ)× 32.6 mm(幅)× 13 mm(高さ)です。

シェル背面から直径 Φ0.5 mm のピン 38 本が引き出されており、ピンピッチは 1.78 mm です。これらのピンは、焦点面電源およびコマンドの入力、焦点面検出信号および温度センサー信号の電気的引き出しに使用されます。側面には直径 Φ1.0 mm のピンが 2 本あり、熱電冷却器(TEC)接続用です。パッケージ両側には直径 Φ2.5 mm の貫通穴が 4 か所あり、検出器の固定に使用されます。




AT1.png



光学仕様


光学構造

本製品は 512×1 エレメントの InGaAs 焦点面を採用しており、両端に冗長素子が 2 個ずつあるため、総ピクセル数は 516×1 です。実使用では、第 3 列から第 514 列の使用を推奨します。ピクセル形状は長方形で、感光サイズは 25 μm × 250 μm、配置構造は「一」字型となっています(下図参照)。


AT2.png

光学窓および位置精度

光学窓材料は K9 ガラスで、厚さは 1.8 mm、応答波長帯での透過率は 90%以上です。感光面の中心は検出器の中心に配置されており、相対位置のずれは ≤0.05 mm、相対回転ずれは ≤0.02 mm です。光学インターフェース寸法は下図の通りです。


AT3.png

AT4.png


相対応答スペクトル(室温における代表値)

AT5.png

 

電気仕様


 検出器ピン配置図

AT6.png

ピンネーム

I/O

機能

基準値

GND

入力

接地

動作電流<10mA

CLK

入力

クロック信号:回路駆動のタイミング基準を提供

デジタル電圧; High level 3.3V, Low level 0V

VDDD

入力

デジタル回路電源:検出器内のデジタル回路に電圧を供給

DC 3.3V,動作電流<5mA

VDDA

入力

アナログ回路電源:検出器内のアナログ回路に電圧を供給

DC 3.3V,動作電流<25mA

SC1,

SC2,

SC3

入力

検出器ゲイン選択:検出器出力信号の振幅を制御(タイミングセクション参照

デジタル電圧; High 3.3V, Low 0V

ST

入力

トリガーパルス:回路信号取得開始のタイミングを示す

デジタル電圧; High 3.3V, Low 0V

リセット

入力

リセット信号:取得期間の継続時間を制御(タイミングセクション参照)

デジタル電圧;; High 3.3V, Low 0V

SH1,

SH2,

SH3

入力

サンプリング制御信号:ピクセルの積分時間設定および読み出しモード変更(タイミングセクション参照)

デジタル電圧; High 3.3V, Low 0V

VBOUT

入力

バッファバイアス電圧:回路バッファにバイアスを供給

DC 2.3V

VBOP

入力

アンプバイアス電圧:信号アンプにバイアスを供給

DC 2.3V2.5V, 推奨2.4V

VREF

入力

基準電圧:出力信号の基準値を提供

DC 2.3V

VNDET

入力

検出器チップ共通負端子

DC 2.3V

VOUTR

出力

基準信号

0.5V2.5V

VOUTS

出力

出力信号:基準信号から出力信号を差し引いて算出

0.5V2.5V

TS

-

温度測定抵抗:抵抗値を測定して動作温度を算出

TEC+,

TEC-

-

熱電冷却器(TEC)電源:ピン極性は表示に従う

定格 TEC 電圧・電流を超えないこと

注意事項

検出器の輸送および使用時には静電気防止対策を講じてください。

検出器の電源投入前に、電源接続状態および駆動設定を確認してください。各回路の動作電流が 60 mA を超えないよう厳守してください。信号出力端子の短絡は禁止です。電源投入後にタイミング信号を印加して動作させることを推奨します。

DC 入力は検出器全体のノイズに直接影響するため、DC 入力電源のリップルノイズは以下の条件を満たす必要があります:

a,VDDA < 2 mV

b.VDDD < 10 mV

c.VREF、VNDET < 0.3 mV

d.VBOP、VBOUT < 1 mV

 

検出器動作原理および接続方法図


512x16.png


検出器タイミング説明

全体読み出し回路駆動タイミングパルスは下図の通りです。

IWR モード:

AT8.png

ITR モード:

AT9.png


拡大表示後、トリガーレベル ST におけるタイミング詳細は以下の通りです。

AT10.png


全体タイミング要件は以下の通りです。

名称

高レベル幅

初期レベル

立上り時間

CLK

0.5 CLK サイクル

Low

0.5 CLK サイクル

RESET

積分時間に応じて調整

High


SH1


Low

6μs

SH2

4μs

Low

RESET 立下り前 5 μs

SH3

4μs

Low

1μs

ST

1    CLK サイクル

Low

15μs

 

·  CLK サイクルおよび RESET 高レベル幅は必要に応じて設定可能です。CLK の推奨周波数範囲は 1~10 MHz、RESET の低レベル幅は 2 μs 以上としてください。

·  IWR モードでは、SH1、SH2、SH3 の順序を変更してはいけません。検出器の積分時間は、同一 RESET サイクル内で SH1 の立下りエッジから SH2 の立下りエッジまでの時間です。

 ·  ST 高レベルは CLK の高レベル全体をカバーする必要があり、ST の立上りエッジは CLK の低レベル内に配置してください。推奨として、CLK 低レベルの中央(1/2)に設定します。

 ·  実際の信号読み出しは、ST 立上り後の最初の CLK 立上りエッジ位置から開始し、参照信号 R と出力信号 S を順次読み出します。読み出しは SH2 立下り前の最後の CLK サイクルまで行います。

 ·  RESET 高レベル幅が 516 ピクセル全てを読み出すのに不足する場合、次の RESET 高レベル到来時に読み出しは未読ピクセルからではなく、必ず最初のピクセルから開始されます。RESET 高レベル幅が大きすぎる場合、チャンネルの 516 ピクセル読み出し後も、RESET 低レベル到来まで空読みが続きます。

 ·  SC1、SC2、SC3 はデジタル入力電圧を使用することを推奨します。すなわち、常に 3.3 V 高レベル / 0 V 低レベルを維持してください。

 

本検出器は 8 段階のゲインレベルを備えており、使用には最小ゲインレベル(レベル 8)を推奨します。ゲインレベルと入力電圧の具体的関係は以下の表の通りです。

ゲインレベル

SC1

SC2

SC3

ゲイン

1

1

1

1

High

2

0

0

0


3

0

0

1


4

0

1

0


5

0

1

1


6

1

0

0


7

1

0

1


8

1

1

0

Low

 

検出器周辺推奨回路図


AT11.png

熱パラメータ

本検出器は2 段式熱電冷却器(TEC)を内蔵しています。放熱面の中心は検出器底面中心に揃え、放熱面積は 20 mm × 20 mm 以上 としてください。性能パラメータは以下の表の通りです。

性能指標

冷熱両面最大温度差 (△Tₘₐₓ/°C) *

45

最大許容負荷電流 (Iₜₑc₋ₘₐₓ/A)

2.72

最大許容負荷電圧 (Vₜₑc₋ₘₐₓ/V)

13.5

※本性能指標は、パッケージ構造の焦点面と放熱面間の温度差を指します。


温度センサーの特性

本製品は温度センサーとしてサーミスタを使用しています。動作温度範囲内における、サーミスタの抵抗値と温度の対応関係は下図の通りです。

640AA14.png


サーミスタ抵抗値と温度の典型対応関係

Temp.(℃)

Res.(kΩ)

Temp.(℃)

Res.(kΩ)

Temp.(℃)

Res.(kΩ)

Temp.(℃)

Res.(kΩ)

Temp.(℃)

Res.(kΩ)

-50

38.7

-30

13.69

-10

5.587

10

2.55

30

1.268

-45

29.4

-25

10.81

-5

4.549

15

2.126

35

1.077

-40

22.56

-20

8.608

0

3.729

20

1.782

40

0.918

-35

17.49

-15

6.909

5

3.075

25

1.5

45

0.786

 

サーミスタ抵抗値と温度の対応関係(以下の式で表されます):


640AA15.png


サーミスタ測定パラメータ

T1: 試験対象温度(単位:℃)

T2: 参照点温度(単位:℃)。範囲 -70~30℃ では、典型値は -40℃ または -10℃。試験対象温度に近い参照温度を選択してください。

R1, R2: T1 および T2 に対応するサーミスタ抵抗値(単位:kΩ)

B: サーミスタ係数。範囲 -70~30℃ で B-40/-10 の典型値は 2854.43(誤差 ±2%)、この典型値から算出される温度誤差は ±0.5℃


注意事項

a) TEC の設置時は、外部電気構造による追加抵抗に注意してください。追加抵抗が TEC 抵抗の 10% を超える場合、I-V カーブを再キャリブレーションする必要があります。
b) TEC は接続抵抗が最小となる方法で接続することを推奨します。ピンのはんだ付けが必要な場合は、短絡防止と接地保護を実施してください。ピンはんだ付け時の局所温度は ≤ 250℃、はんだ付け時間は < 10 s としてください。
c) 小範囲の温度でより高い測定精度が必要な場合、B 値は必要に応じて独自に算出可能です。

d) TEC を通電する前に、温度センサーが正常に動作していること、放熱面がヒートシンクに十分接触していること、放熱面のサイズが要件を満たしていること、ヒートシンクが正常に機能していることを必ず確認してください。ヒートシンク未設置または不良時の TEC 通電は推奨されません。
e) TEC を初めて通電する場合は、0A または 0V から徐々に電流・電圧を印加し、設定温度に到達するまで温度変化をモニタしてください。
f) 検出器性能は温度に影響されるため、検出器を作動させる前に TEC を通電して目標温度で安定させる必要があります。温度変動環境での検出器動作は推奨されません。
g) 長期間使用しない場合は、TEC の電源を切り、寿命延長を図ってください。
h) 検出器の冷却性能は周囲温度、電源性能、放熱状態に依存します。実際の使用環境と要求性能に応じて、放熱システムを適切に選定してください。


製品サポート

問題点

考えられる原因

対策

検出器の信号出力異常

電源未接続または電源異常

 各電源がマニュアルに記載の電気的要件を満たしているか確認する

 タイミング異常

 マニュアル推奨値に従って、検出器のタイミングパルス幅を調整する

 積分時間不足または光信号なし

積分時間を延長し、ゲインレベルを切り替える

 光強度飽和

 積分時間を短縮し、ゲインレベルを切り替える

検出器の出力ノイズ過大

 電源リップルノイズ過大

マニュアルの DC 電源リップルノイズ要件に従い、電源を供給する

TEC ピンの逆接続

温度センサーで逆接続の有無を確認する

 後段回路からのノイズ混入

基板レベルの回路構造や回路ノイズの状況を点検する



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