640×512 InGaAs アレイ検出器     


640 × 512 InGaAs アレイ検出器は、低ノイズ読み出し回路(ROIC)、P-I-N構造のInGaAs感光チップ、および一次サーモエレクトリッククーラー(TEC)で構成され、金属パッケージに収められています。
本検出器には、従来型とオープンウィンドウ型の2種類があります。本マニュアルでは、オープンウィンドウ型B製品についてのみ説明します。




製品 モデル


名称 モデル 価額
640×512 InGaAs アレイ検出器   [PDF]  [RFQ]

PL-1700-IGLA-AR1515-640512
[お問い合わせください]

パラメータ


特長

·  画素数:640 × 512

·  動作波長帯:0.95~1.7 µm

·  高い検出効率

·  室温動作


仕様

パラメータ

典型値

  応答スペクトル (μm) *1

0.95 ±0.051.7 ±0.05

 画素充填率 (%)

100

  最大量子効率 (%)

≥70@1.55μm

 最大検出率 *2 (cm·Hz/W)

≥5 × 1012

 最大感度 (A/W)

≥0.8

 有効画素率 (%) *3

>99.5

 応答均一性 (%)

≤5

  再生モード

IWR 、ITR 、ITR+CDS 、NDRO 、IMRO

 読出し速度 (MHz)

範囲:2~22、典型値:12

  読出しチャネル数

2 、4 、8,オプショナル

  フルフレームレート (Hz) *4

350

 ゲイン段

3

 変換ゲイン (μV/e-)

1 (LG) 、25 (MG) 、110 (HG)

 ダイナミックレンジ (dB)

≥55 (MG)

*1 焦平面温度 = 25℃

*2 焦平面温度 = 20℃、中間ゲイン、積分時間 8 ms、信号振幅はハーフウェル付近

*3 ハーフウェル付近条件で、応答信号が平均値から±50%以内の画素割合

*4 読出しチャネル数 = 8、読出しモードは IWR、読出し速度 20 MHz


量子効率(典型値)


TC1.png


検出器の動作原理および接続方式の概略図


TC2.png


機械性能

パラメータ

典型値

外形寸法(長さ × 幅 × 高さ)(mm)

32 ×25.5 ×7.9

 重量(g)

21

 焦平面サイズ

640 ×512

  画素中心間隔(μm)

15

 画素サイズ(μm)

15 × 15

 感光面(mm)

9.6 ×7.68

 

環境条件および消費電力仕様

パラメータ

典型値

動作温度(℃)

-20+60

 保存温度(℃)

-40+70

消費電力(典型値)(W)*

<0.35

温度サイクル、ランダム振動

GJB 548B-2005 規格に準拠した設計



寸法およびピン定義

機械的仕様

本検出器は金属パッケージ形式で、常圧かつ高純度窒素ガスが充填されています。外殻は FeNiCoSi 合金製で、表面には Ni/Au メッキが施されています。窓は IN ブレージングで接合され、キャップは抵抗溶接により固定されています。

外形寸法は 32 mm(長さ)× 25.5 mm(幅)× 7.9 mm(高さ)です。底面には直径 0.45 mm のピンが 41 本配置されており、両側二列の「プロダクト」レイアウトとなっています。単側の隣接二列ピン間隔は 1.27 mm、単列ピン間隔は 1.6 mm で、焦点面の電源およびコマンド入力、検出信号、温度センサーの電気的引き出しに使用されます。

さらに、側面には直径 1.0 mm のピンが 2 本あり、熱電冷却器の接続に用いられます。外殻の両側には直径 1.8 mm のビアホールが 4 か所設けられ、検出器の固定に使用されます。

機械的インターフェースの外観および寸法は、以下の図に示します。


TC3.png


光学構成

本検出器は、640 × 512 要素の InGaAs 焦点面アレイを備えており、ピクセル中心間距離は 15 µm、ピクセル形状は正方形、受光面サイズは 15 µm × 15 µm です。

検出器とパッケージ構造上面との設計距離は 2.41 ±0.2 mm、検出器と窓下面との設計距離は 1.41 ±0.2 mm、検出器と絞り下面との設計距離は 0.71 ±0.2 mm です。

窓材質はサファイアで、厚さは 0.6 ±0.02 mm、屈折率は 1.76、表面には AR コーティングが施され、応答波長帯での透過率は規定値以上です。窓の透過面積は 13.5 mm × 11.5 mm、絞り透過面積は 10.2 mm × 8.3 mm です。

受光面の中心は検出器の中心に位置し、相対位置のオフセットは ≤0.05 mm、相対回転変位は ≤0.02 mm に制御されています。


TC4.jpg


検出器ピンの配列図

TC5.png


検出器ピンの説明


ピン番号

ピン名

入出力

ピン機能

基準値

1

NC

-

空ピン、未接続、方向識別用


2

CLK

入力

検出器マスタークロック

デジタル電圧

高レベル:3.3 V、低レベル:0 V

3

ST

出力

フレーム出力識別子

詳細は注 3 を参照

4

ROW_ST

出力

ライン出力識別子

詳細は注 3 を参照

5

ERROR

出力

シリアルポートコマンド入力チェックビット

 詳細は注 3 を参照

6

SERIAL

入力

シリアルポートコマンド入力

 デジタル電圧 高レベル 3.3 V、低レベル 0 V

7

RESET

入力

外部リセット入力(高レベル有効)

 デジタル電圧 高レベル 3.3 V、低レベル 0 V

8

NC

-

ピン 1 と同様


9/10

TS

-

温度センサー(抵抗値測定)、焦点面の動作温度フィードバック、2 ピンで測定


11

NC

-

ピン 1 と同様


12

NC

-

無ピン、方向識別用


13

NC

-

 ピン 1 と同様


14

NC

-

ピン 1 と同様


15

GNDA

-

アナログ電源グラウンド、VDDA に対応


16

VDDA

出力

 

アナログ電源

シミュレーション電圧:3.6 V、駆動電流:>90 mA

17

VDDL

入力

VDCC

シミュレーション電圧:3.6 V、駆動電流:>90 mA

18

VOUT1

出力

8 チャンネル/4 チャンネル/2 チャンネル出力モードの第1チャンネル、出力信号


19

VOUT2

出力

2 チャンネル出力モードの第1チャンネル、2 チャンネル出力モードの第2チャンネル


20

VOUT3

出力

4 チャンネル出力モードの第3チャンネル


21

VOUT4

出力

4 チャンネル出力モードの第4チャンネル


22

VOUT5

出力

 8 チャンネル出力モードの第5チャンネル


23

VOUT6

出力

  8 チャンネル出力モードの第6チャンネル


24

VOUT7

出力

 8 チャンネル出力モードの第7チャンネル


25

VOUT8

出力

 8 チャンネル出力モードの第8チャンネル


26

SUBPV

入力

検出器共通端子l

シミュレーション電圧:2.3 V
駆動電流:>5 mA

27

NC

-


接続禁止

28

VREF

-

基準電圧

詳細は推奨周辺回路を参

29

GND

-

共通接地点


30~34

NC

-

同上(ピン 1)


35

VD33

入力

デジタル I/O 電源

シミュレーション電圧:3.3 V、駆動電流:>15 mA

36/37

NC

-


接続禁止

38

GND

-

同上(ピン 29)


39

VD18

入力

デジタルロジック電源

シミュレーション電圧:1.8 V、駆動電流:>30 mA

40

VTEMP

出力

回路内蔵温度センサー電圧出力(電圧ゲイン -6 mV/K)


41

INT

入力

積分制御入力

デジタル電圧:高レベル 3.3 V、低レベル 0 V

42

NC

-

同上(ピン 1)


43

TEC-

-

熱電冷却器接続端(−)


44

TEC+

 

-

 

熱電冷却器接続端(+):足+は冷却用に高電位に接続され、足−は加熱用に低電位に接続されます。

 


 

注意事項

DC入力は検出器全体のノイズに直接影響するため、DC入力電源のリップルノイズには以下の条件を満たす必要があります。

1)各電源電圧のリップルノイズ要求

a) VDDA:< 1 mV

b) VDDL:< 10 mV

c) VD33:< 5 mV

d) VD18:< 5 mV

2) 信号出力(VOUT1~VOUT8)の負荷要求Cload < 25 pFRload > 100 kΩ

3)論理出力信号範囲論理出力信号は高低レベルのデジタル信号

a)  低レベル:0 ~ 0.3 V

b) 高レベル:VD33 - 0.3 V ~ VD33

c) 論理出力負荷要求:Cload < 15 pF

4)  基準電圧内部生成型、標準値:2.24 V



応用 / 用途

· 産業用検査

· マシンビジョン

· 分光分析

· 材料選別


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